Труды третьего международного симпозиума "Вакуумные технологии и оборудование" : Харьков, 22 - 24 сент. 1999 г. Т. 1 / ред.: В. С. Коган, В. М. Шулаев; НАН Украины. Нац. науч. центр "Харьк. физ.-техн. ин-т", "Вакуумные технологии и оборудование", международный симпозиум (3; 1999; Харьков). - Х., 1999. - 172 c. - рус.Рассмотрены устройства и технологии для получения тонких пленок и покрытий, особенности модификации их и поверхностных слоев материалов корпускулярным воздействием и светом. Описаны структура и свойства тонких пленок и покрытий, их зависимость от режимов осаждения и обработки. Освещены проблемы применения вакуума в исследовательских и прикладных целях, проблемы исследования и контроля параметров вакуумных систем, а также проблемы получения вакуума. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж618 я431(0)
Рубрики:
Шифр НБУВ: В342898 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|