Навицкас Р. Эволюция микроструктур масок в процессах поперечного травления / Р. Навицкас // Электроника и связь. - К., 2001. - № 11. - С. 34-36. - Библиогр.: 4 назв. - рус.
В процессах поперечного травления изменяются толщина и профиль маскирующих слоев. Полученные аналитические зависимости позволяют выполнять инженерный анализ при разработке технологии и топологии интегральных компонентов и схем, также микросистем с датчиками балочных конструкций.
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"