Вивчено характер розчинення InAs в розчинах системи HNO₃ - HBr - H₂O. Побудовано поверхню рівних швидкостей травлення і визначено лімітуючі стадії процесу розчинення. Встановлено, що в залежності від співвідношення [HNO₃]/[HBr] розчинення InAs може лімітуватися або кінетичними, або дифузійними обмеженнями, або протікати за змішаним механізмом. Швидкість розчинення InSb у вказаних розчинах невелика, а оброблена поверхня покривається рихлим осадом. Розчини системи HNO₃ - HBr - H₂O можуть бути використані для хіміко-динамічного полірування InAs з різною швидкістю зняття матеріалу.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"