Stanishevsky A. Fabrication of submicron structures in CVD diamond by focused ion beam / A. Stanishevsky // Сверхтвердые материалы. - 1998. - № 6. - С. 4-8. - Библиогр.: 19 назв. - англ.
Polycrystalline CVD diamond films were exposed to a finely focused beam of 50 kV Ga+ ions to mill submicron size patterns. A minimum width of 30 nm for a trench and a radius of 40 nm for a tip fabricated in a single diamond microcrystallite have been achieved. The influence of the ion current and beam scan strategy on the geometry of the milled patterns has been studied.
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"