Досліджено електронну польову емісію з плівок полікристалічного кремнію. Плівки полікремнію отримано методом осадження із парогазової суміші за умов зниженого тиску. Легування плівок полікремнію проведено як у процесі осадження, так і шляхом термічної дифузії з POCl₃ за температури 900 та 950 °С протягом 30 хв. Загострення виступів на поверхні полікремнієвого шару проведено термічним окисленням у сухому O₂ або в H₂O за різних температур у діапазоні 900 - 1100 °С. Після окиснення і стравлювання окису поверхня полікристалічного кремнію має розвинуті виступи, особливо у випадку окиснення за нижчих температур. Виступи на полікремнієвих поверхнях є нерегулярними, тобто мають різні розміри (відношення висоти до основи) та форму. Морфологію поверхні оцінено за допомогою скануючого електронного мікроскопа. Вимірювання емісійного струму проведено у високовакуумній системі, яку відкачували до стабільного тиску 10^-6 Торр. Визначено площі емісії та коефіцієнти локального підсилення електричного поля. Ці параметри використано для порівняння вольт-амперних характеристик емісійного струму з плівок полікристалічного кремнію з різною морфологією поверхні. Плівки полікристалічного кремнію охарактеризовано високим емісійним струмом, що зумовлено відносно великими площами емісії.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"