РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000030829<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Evtukh A. A. 
Investigation of electron field emission from polycrystalline silicon films = Дослідження електронної польової емісії з плівок полікристалічного кремнію / A. A. Evtukh // Укр. фіз. журн. - 2000. - 45, № 7. - С. 834-840. - Библиогр.: 15 назв. - англ.

Досліджено електронну польову емісію з плівок полікристалічного кремнію. Плівки полікремнію отримано методом осадження із парогазової суміші за умов зниженого тиску. Легування плівок полікремнію проведено як у процесі осадження, так і шляхом термічної дифузії з POCl3 за температури 900 та 950 °С протягом 30 хв. Загострення виступів на поверхні полікремнієвого шару проведено термічним окисленням у сухому O2 або в H2O за різних температур у діапазоні 900 - 1100 °С. Після окиснення і стравлювання окису поверхня полікристалічного кремнію має розвинуті виступи, особливо у випадку окиснення за нижчих температур. Виступи на полікремнієвих поверхнях є нерегулярними, тобто мають різні розміри (відношення висоти до основи) та форму. Морфологію поверхні оцінено за допомогою скануючого електронного мікроскопа. Вимірювання емісійного струму проведено у високовакуумній системі, яку відкачували до стабільного тиску 10-6 Торр. Визначено площі емісії та коефіцієнти локального підсилення електричного поля. Ці параметри використано для порівняння вольт-амперних характеристик емісійного струму з плівок полікристалічного кремнію з різною морфологією поверхні. Плівки полікристалічного кремнію охарактеризовано високим емісійним струмом, що зумовлено відносно великими площами емісії.


Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226 + В379.271.3

Рубрики:

Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ 
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського