Досліджено аморфізацію кремнію в процесі іонної імплантації в разі одночасної дії ультразвуку для детального вивчення впливу дифузії точкових дефектів на кінетику процесу аморфізації. Показано, що щільность дефектів у поверхневому шарі, а також товщина аморфного шару збільшуються під час in situ ультразвукових обробок. Отримані результати обговорено в межах моделі сепарації та дифузії точкових дефектів.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"