Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000031603<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Васин А. В. Влияние остаточной атмосферы на формирование структуры пленок a-SiC при осаждении с помощью магнетронного распыления / А. В. Васин, Е. Ф. Венгер, Л. А. Матвеева, А. Г. Гонтарь, А. М. Куцай, И. А. Косско // Сверхтвердые материалы. - 1999. - № 3(119). - С. 18-25. - Библиогр.: 9 назв. - рус.Исследовано влияние газов остаточной атмосферы при различных вакуумных условиях напыления на формирование структуры пленок a - Si1 - xCx, осаждаемых с помощью магнетронного распыления составной кремний-графитовой мишени. Проведен анализ спектров поглощения и комбинационного рассеяния света пленок с различными значениями x и напыленных при различных вакуумных условиях. Описана методика анализа состояния углерода в пленках a - Si1 - xCx методом сравнительного анализа спектров оже-электронной спектроскопии высокого разрешения. Показано, что при избытке в остаточной атмосфере кислородсодержащих газов (в основном моноокиси углерода) формируется преимущественно две аморфных фазы SiOx и кластеры углерода. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.030
Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|