Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000031671<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Бугаев Е. А. Влияние условий осаждения на структурно-фазовый состав пленок TaSi2 на кремнии / Е. А. Бугаев, Ю. Н. Макогон, Е. П. Павлова, С. И. Сидоренко // Металлофизика и новейшие технологии. - 2001. - 23, № 5. - С. 609-613. - Библиогр.: 6 назв. - рус.Досліджено процеси формування фазового складу і структури плівок TaSi2 на кремнії. Показано, що погіршення базового вакууму та зменшення швидкості осадження плівок TaSi2 для магнетронного методу одержання викликають зменшення швидкості кристалізації з аморфного стану. Це пов'язано з підвищенням концентрації домішкових атомів O і C. Ключ. слова: пленки дисилицида тантала, магнетронный метод, силициды, кристаллизация Індекс рубрикатора НБУВ: К663.030.022-1
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|