Методами спектральної еліпсометрії та фотолюмінесценції досліджено оптичні властивості а-C:H:N-плівок, отриманих методом плазмохімічного осадження, в залежності від вмісту азоту в плазмі та в плівці. Показано, що оптична ширина забороненої зони, інтенсивність та спектральне положення смуги фотолюмінесценції плівок змінюються немонотонно із зміною вмісту азоту в плазмі. Отримані результати інтерпретовано на основі моделі, яка враховує вплив азоту на структуру а-C:H:N-плівок.

• Клюй Микола Іванович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"