Проведено дослідження структурних змін в приповерхневих шарах монокристалічного кремнію в процесі формування схованих під поверхнею аморфізованих шарів. Встановлено, що імплантація іонів фосфору з енергією 180 кеВ і дозою порядку 10¹⁵ іон/см² і наступний температурний відпал за T = 500 °С викликають значні структурні зміни в приповерхневих областях. Для сформованих таким чином структур характерним є наявність значних напружень у напрямку, перпендикулярному межі розділу.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"