Фодчук И. М. Исследование структурных изменений в кристаллах при ионной имплантации / И. М. Фодчук, Н. Д. Раранский, А. Г. Гимчинский, А. В. Евдокименко, З. Т. Кузницкий, З. Свянтек // Металлофизика и новейшие технологии. - 1999. - 21, № 8. - С. 40-45. - Библиогр.: 11 назв. - рус.Проведено дослідження структурних змін в приповерхневих шарах монокристалічного кремнію в процесі формування схованих під поверхнею аморфізованих шарів. Встановлено, що імплантація іонів фосфору з енергією 180 кеВ і дозою порядку 1015 іон/см2 і наступний температурний відпал за T = 500 °С викликають значні структурні зміни в приповерхневих областях. Для сформованих таким чином структур характерним є наявність значних напружень у напрямку, перпендикулярному межі розділу. Ключ. слова: кремний, имплантация, рентгеновские методы, структурные изменения, приповерхностные слои Індекс рубрикатора НБУВ: В379.221
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|