Новосядлий С. П. Механізми формування плівок дисиліциду титану в реакторі зниженого тиску на основі аморфного кремнію / С. П. Новосядлий // Металлофизика и новейшие технологии. - 2001. - 23, № 5. - С. 597-608. - Бібліогр.: 9 назв. - укp.Досліджено механізми формування силіцидних плівок тугоплавких металів, зокрема TiSi2, з використанням дисиланової технології аморфного кремнію, яка забезпечує низьку дефектність і зниження послідовного контактного опору і міжз'єднань приладних структур ВІС. Двошарова плівка аморфного кремнію і титану формується одностадійним процесом піролізу дисилану та тетрахлориду титану в реакторі зниженого тиску в пульсуючому режимі, а формування дисиліцидної плівки здійснено швидким фотонним відпалом у формінгазі. Ключ. слова: формування плівок, дефектність плівок Індекс рубрикатора НБУВ: К663.030.022-1
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|