Бабич В. М. Особенности поведения структурных дефектов при различных термообработках в кислородсодержащих кристаллах кремния, легированных изовалентной примесью германия / В. М. Бабич, П. И. Баранский, Ю. П. Доценко, М. Я. Скороход // Металлофизика и новейшие технологии. - 2000. - 22, № 12. - С. 34-42. - Библиогр.: 15 назв. - рус.Із використанням рентгенівської топографії, декорування дефектів міддю, ефекту Холла й інших методик досліджено процеси утворення структурних дефектів у кисневмісних кристалах Si, легованих ізовалентною домішкою Ge (від 5 . 1018 до 2 . 1020 см-3), за різних умов відпалу в температурному інтервалі 450 - 1250 °C. Показано, що домішка Ge сприяє утворенню дефектної структури в таких кристалах, яка слабо проявляється та призводить до появи особливостей у формуванні мікродефектів, а також атмосфер Коттрелла біля ядер дислокацій. Ключ. слова: кремний, изовалентная примесь, упругие напряжения, микродефекты, топограмма Індекс рубрикатора НБУВ: В379.222
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|