Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000033952<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Томашик З. Ф. Растворение арсенида и антимонида индия в растворах системы HNO3 - HF - H2SO4 / З. Ф. Томашик, С. Г. Даниленко, В. Н. Томашик // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 1998. - № 33. - С. 78-81. - Библиогр.: 5 назв. - рус.Изучен характер растворения InAs и InSb в растворах системы HNO3 - HF - H2SO4. Построены поверхности равных скоростей травления указанных полупроводниковых соединений и определены лимитирующие стадии процесса. Показано, что в случае InSb процесс растворения лимитируется диффузионными стадиями, а растворение InAs определяется стадией непосредственного химического взаимодействия. Установлены концентрационные пределы растворов, которые могут быть использованы при разработке травильных композиций для обработки арсенида и антимонида индия. Індекс рубрикатора НБУВ: З843.3
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|