РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000033952<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Томашик З. Ф. 
Растворение арсенида и антимонида индия в растворах системы HNO3 - HF - H2SO4 / З. Ф. Томашик, С. Г. Даниленко, В. Н. Томашик // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 1998. - № 33. - С. 78-81. - Библиогр.: 5 назв. - рус.

Изучен характер растворения InAs и InSb в растворах системы HNO3 - HF - H2SO4. Построены поверхности равных скоростей травления указанных полупроводниковых соединений и определены лимитирующие стадии процесса. Показано, что в случае InSb процесс растворения лимитируется диффузионными стадиями, а растворение InAs определяется стадией непосредственного химического взаимодействия. Установлены концентрационные пределы растворов, которые могут быть использованы при разработке травильных композиций для обработки арсенида и антимонида индия.


Індекс рубрикатора НБУВ: З843.3

Рубрики:
 Напівпровідникові матеріали та вироби 

Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського