Досліджено вплив параметрів процесу осадження плівок Al₂O₃ у високочастотному магнетронному розряді планарного типу на їх структуру, фазовий склад, пористість та електричну стійкість. Виявлено, що за умов, забезпечення високої рухомості адатомів на поверхні конденсації, формуються багатофазні полікристалічні шари, які мають стабільну alpha-структуру, низьку пористість та великі значення електричної стійкості. Визначено технологічні межі утворення аморфної та метастабільних фаз у плівках. Наведено дані про морфологію поверхні та мікротвердість плівок на основі Al₂O₃.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"