Лунев И. В. Структура и свойства тонких пленок оксида алюминия, полученных методом магнетронного распыления / И. В. Лунев, В. Г. Падалка // Металлофизика и новейшие технологии. - 2000. - 22, № 2. - С. 36-41. - Библиогр.: 7 назв. - рус.Досліджено вплив параметрів процесу осадження плівок Al2O3 у високочастотному магнетронному розряді планарного типу на їх структуру, фазовий склад, пористість та електричну стійкість. Виявлено, що за умов, забезпечення високої рухомості адатомів на поверхні конденсації, формуються багатофазні полікристалічні шари, які мають стабільну alpha-структуру, низьку пористість та великі значення електричної стійкості. Визначено технологічні межі утворення аморфної та метастабільних фаз у плівках. Наведено дані про морфологію поверхні та мікротвердість плівок на основі Al2O3. Ключ. слова: оксид алюминия, магнетронное распыление, фазовый состав, электрическая прочность, микротвердость Індекс рубрикатора НБУВ: К233.102.6 + К663.030.022
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|