Куцова В. З. Структура та властивості легованого напівпровідникового кремнію / В. З. Куцова, О. А. Носко // Металознавство та оброб. металів. - 2001. - № 1-2. - С. 59-64. - Бібліогр.: 10 назв. - укp.Вивчено вплив легуючих елементів на фазові перетворення та структуру напівпровідникового кремнію. Показано, що фазові та структурні перетворення, що відбуваються в кремнії в інтервалі температур 100 - 1200 °C, значно впливають на формування кінцевої структури і, відповідно, електрофізичних властивостей. Структурні зміни послабляються або придушуються цілком шляхом введення в кремній легуючих елементів, що значно підвищують енергію міжатомної взаємодії. Цей факт необхідно враховувати у виробництві напівпровідникових приладів. Визначені температури технологічних процесів з урахуванням інтервалів фазових перетворень у кремнії, а також під час вибору легуючих елементів, що забезпечують темостабільність кремнію. Індекс рубрикатора НБУВ: К294.08
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14768 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|