Описано метод еліпсометрії для дослідження та контролю технічних процесів напівпровідникового виробництва різних структур. Наведено результати еліпсометричних розрахунків для найбільш розповсюджених матеріалів і тонкоплівкових структур, які використовуються в електроніці.

Описан метод эллипсометрии для исследования и контроля технических процессов полупроводникового производства различных структур. Приведены результаты эллипсометрических расчетов для наиболее распространенных материалов и тонкопленочных структур, применяющихся в электронике.

• Хомяк Володимир Васильович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"