Рассмотрены вопросы контроля технологических параметров выращивания слитков кремния большого диаметра, метод контроля диаметра слитка и мениска в процессе роста, контроля уровня расплава, основанный на анализе видеоизображения, получаемого с телевизионной камеры, а также метод контроля температуры расплава. Приведены оценки адекватности стохастических моделей передаточных функций системы управления процессом выращивания монокристаллов кремния, надежности оптоэлектронных систем с многоэлементными светодиодными шкальными индикаторами. Освещены вопросы идентификации параметров математической модели примеси кислорода в расплаве кремния.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"