Доказана эффективность использования уникального аналитического оборудования на крупном предприятии по разработке и производству изделий микроэлектроники. Отмечено, что аналитические средства обеспечивают входной контроль количественного состава примесей на уровне <$E>>> 1013 ат/см<^>3 в монокристаллическом кремнии, полупроводниковых структурах, а также контроль геометрических размеров элементов изделий, толщин тонких (<$E>>> 1,0 нм) пленок диэлектриков, металлов и полупроводников.

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"