Викладено методологію створення об'єктно-орієнтованих програмних систем за допомогою мови UML. Розглянуто методику моделювання складних неформалізованих систем на базі моделі підвищеної чутливості Ф.Фестера, що використовує методи нечіткої логіки. Описано архітектуру підсистеми моделювання технологічних операцій виготовлення ІС з залученням методу Монте - Карло та основних математичних моделей. За результатами експериментальних досліджень рідинного та плазмохімічного травлення висвітлено моделі ізотропного та анізотропного травлення функціональних шарів під час формування субмікронних структур великих інтегральних схем.

Изложена методология создания объектно-ориентированных программных систем с помощью языка UML. Рассмотрена методика моделирования сложных неформализированных систем на основании модели повышенной чувствительности Ф.Фестера, и методов нечеткой логики. Описана архитектура подсистемы моделирования технологических операций изготовления ІС, использующая метод Монте-Карло и основные математические модели. На основании результатов экспериментальных исследований жидкостного и плазмохимического травления освещены модели изотропного и анизотропного травления функциональных пластов при формировании субмикронных структур больших интегральных схем.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"