Изложены основы общей и законодательной метрологии, государственные и правовые акты Украины в данной области. Определены объекты, цели и задачи метрологии полупроводников как автономного направления науки и техники. Подробно описаны параметры и критерии оценки качества полупроводниковых материалов и структур. С учетом положений метрологии рассмотрены методики выполнения измерений основных характеристических параметров полупроводников. Значительное внимание уделено явлению примесных неоднородностей и метрологии неоднородных полупроводников.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"