Иванов В. Н. Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах / В. Н. Иванов, Р. В. Конакова, В. В. Миленин, М. А. Стовповой // Технология и конструирование в электрон. аппаратуре. - 2002. - № 6. - С. 54-56. - Библиогр.: 9 назв. - рус.Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe - Ta - Au, AuGe - TaNх - Au, AuGe - TiBх - Au, AuGe - TiBх - Mo - Au и Ti - Au, TiNх - Au, TiBх - Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3-5 мкм и концентрацией носителей (5-6) [$Esymbol Р ] 10<^>15cм<^>-3. Показано, что контакты со слоями TiNх, TaNх, TiBrх мало изменяют параметры после термообработки при 550 <$Esymbol Р>C в течение 1 часа. Контакты со слоями Ti и Ta при термообработке 550 <$Esymbol Р>C резко изменяют свои характеристики. Індекс рубрикатора НБУВ: З843.33
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14479 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|