Кренделев А. Е. Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона / А. Е. Кренделев // Технология и конструирование в электрон. аппаратуре. - 2002. - № 4-5. - С. 34-39. - Библиогр.: 10 назв. - рус.Показано, что основные задачи реализации пленочных ГИС сверхвысоких и крайне высоких частот зависят от выбора материала подложки, методов точного формирования проводников, методов и режимов осаждения металлов с высокой проводимостью без адгезионного подслоя. Рекомендовано применение полимерных подложек, методов ионного травления с использованием источника ионов типа Кауфмана и использование магнетронного распыления металлов. Індекс рубрикатора НБУВ: З852.5-06
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14479 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|