Сорока В. І. Можливості використання електростатичних прискорювачів для модифікування матеріалів / В. І. Сорока. - К., 2002. - 24 c. - (Препр. / НАН України. Ін-т ядер. дослідж.; КІЯД-02-4). - Бібліогр.: с. 19-23. - укp.Розглянуто особливості модифікування напівпровідників, металів і діелектриків під впливом високоенергетичної іонної імплантації. Висвітлено проблеми трактування основних процесів взаємодії іон - тверде тіло. Проаналізовано технічні особливості використання електростатичних прискорювачів як іонних імпланторів. Рассмотрены особенности модификации полупроводников, металлов и диэлектриков под влиянием высокоэнергетической ионной имплантации. Освещены проблемы трактовки основных процессов взаимодействия "ион - твердое тело". Проанализированы технические особенности использования электростатических ускорителей как ионных импланторов. Індекс рубрикатора НБУВ: В372.1
Рубрики:
Шифр НБУВ: Р102069 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|