Определены факторы, влияющие на возникновение микродефектов в бездислокационных слитках кремния. Рассмотрены вопросы математического моделирования термо- и гидродинамических процессов в тепловом узле установки для выращивания монокристаллов методом Чохральского. Освещена спецификация прогнозирующей модели для системы оперативного управления производством монокристаллов кремния. Описана методика определения неравномерности содержания кислорода в слитках кремния большого диаметра. Предложены новые сверхвысокочастотные методы измерения электрофизических параметров полупроводниковых материалов. Проанализировано влияние динамики управления нагревателем на структурное совершенство кристаллов кремния большого диаметра, выращиваемых методом Чохральского. Изложен системный подход к построению регрессионной модели по временным рядам. Рассмотрены принципы построения интеллектуальных сетей пьезоэлектрических датчиков деформации, система анализа и идентификации изображений дистанционного зондирования с применением вейвлет-преобразования. Изучены ресурсосберегающие способы переработки отходов твердых сплавов карбид вольфрама-кобальта в растворах фосфорной кислоты, экстракции вольфрама из вольфрамовых руд и концентратов.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"