РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000077388<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Томашик З. Ф. 
Хімічне травлення монокристалів InAs та GaAs в розчинах систем <$Eroman bold {H sub 2 O sub 2 }> - неорганічна кислота / З. Ф. Томашик, Е. М. Лукіянчук, В. М. Томашик // Фізика і хімія твердого тіла. - 2003. - 4, № 4. - С. 707-710. - Бібліогр.: 9 назв. - укp.

За відтворюваних гідродинамічних умов досліджено характер хімічного розчинення монокристалів InAs та GaAs уF розчинах систем <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HNO sub 3 }>, <$Eroman {H sub 2 sub O 2 ~-~H sub 3 PO sub 4 }>, <$Eroman H sub2 O sub 2 ~-~HCl> і <$Eroman H sub 2 O sub 2 ~-~H sub 2 SO sub 4 >. Визначено основні закономірності хімічного травлення вказаних напівпровідникових матеріалів та встановлено концентраційні межі розчинів, що можуть бути використані під час розробки травильних композицій для хіміко-динамічного полірування InAs та GaAs.

The nature of chemical dissolution of InAs and GaAs single crystals in the solutions of the H2O2-HNO3, H2O2-H3PO4, H2O2-HCl and H2O2-H2SO4 systems in reproducible hydrodynamics conditions has been unvestigated. The main pecularities of chemical etching of these semiconductor materials and concentration regions of solutions which can be used for the development of etching compositions fot the chemico-dynamic polishing of InAs and GaAs were determined


Ключ. слова: травлення, поверхня, кінетика, механізм, індій арсенід, галій арсенід
Індекс рубрикатора НБУВ: К675.754

Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського