Досліджено зв'язок між основними коефіцієнтами параметрів опромінення та термодинамічних умов, які визначають властивості тонких плівок <$Eroman ZrO sub 2>, утворених імпульсним лазером на різних підкладинках без подальшого відпаду. Вивчено структурні, електричні й оптичні властивості вирощених плівок як функції температури опромінення підкладинки й атмосферного тиску фону. На підставі одержаних результатів розроблено метод виготовлення систем тонких плівок для використання в приладах мікроелектроніки, розроблених на основі плівок <$Eroman ZrO sub 2>. Визначено основні властивості виготовлених систем.

The main aim of this research was to explore a relationships between main factors of deposition parameters and thermodynamical conditions, which determine the properties of ZrO2 thin films prepared by reactive pulsed laser deposition (RPLD) on different substrates without the stage of post-deposition annealing. The structural, electrical and optical properties of grown films were investigated as a function of substrate deposition temperature and pressure of background gas atmosphere. On the basis of obtained results we have developed the method of manufacturing of thin films systems for application in microelectronic devices, which have been constructed on the base of ZrO2 films. Besides, the main properties of manufactured systems have been measured

• Котлярчук Богдан Костянтинович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"