Рассмотрена адсорбционная чувствительность (АЧ) полупроводников и приведены результаты теоретических и экспериментальных исследований физических механизмов АЧ полупроводниковых материалов. Проанализировано влияние поверхностных макро- и наноразмерных кластеров на АЧ данных материалов, освещены особенности миниатюризации полупроводниковых сенсоров (ПС) состава газа и описаны методы улучшения их метрологических характеристик. Обоснована возможность анализа многокомпонентных газов с помощью матриц микроэлектронных ПС.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"