РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІНАДХОДЖЕННЯ |
ПОШУК
|
РУБРИКАТОР
|
Бази даних
Реферативна база даних - результати пошуку
Книжкові видання та компакт-дискиЖурнали та продовжувані виданняАвтореферати дисертаційРеферативна база данихНаукова періодика УкраїниТематичний навігаторАвторитетний файл імен осіб|
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000089182<.>) | |||
|
Загальна кількість знайдених документів : 1 |
|||
Родионов И. А. Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И. А. Родионов, В. В. Макарчук // Технология и конструирование в электрон. аппаратуре. - 2007. - № 3. - С. 30-32. - Библиогр.: 4 назв. - рус. Рассмотрены методы и типы фигур коррекции оптического эффекта близости. Проведено моделирование процесса фотолитографии с использованием рассмотренных фигур. Результаты моделирования подтверждены экспериментом. The different methods and types of optical proximity correction figures were considered in this work. The modeling of lithography process with OPC figures was carried out. The result of modeling was confirmed by experiment. Ключ. слова: литография, коррекция, эффект близости Індекс рубрикатора НБУВ: З844.152 Рубрики: Шифр НБУВ: Ж14479 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
 Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" | |||
| Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
 |
| Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів |
 |
| Інститут проблем реєстрації інформації НАН України |
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського