РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000091623<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Вуйцік В.  
Мікроелектронні сенсори фізичних величин : наук.-навч. вид.: в 3-х т. Т. 1 / В. Вуйцік, З. Ю. Готра, В. В. Григор'єв, В. Каліта, О. М. Мельник, Є. Потенцкі; Нац. ун-т "Львів. політехніка". - Л. : Ліга-Прес, 2002. - 474 c. - укp.

Розкрито основи фізики напівпровідників і тонких плівок, технологічні основи мікроелектронних сенсорів фізичних величин. Наведено загальну схему технологічного процесу виготовлення плівкових сенсорів, описано методи одержання тонких плівок, технології виготовлення елементів товстоплівкових сенсорів, епітаксійних шарів, збирання мікроелектронних сенсорів. Викладено статичні та динамічні характеристики сенсорів магнітного поля та вологості. Висвітлено класифікацію магнітних матеріалів та визначено параметри магнітного поля і магніторезисторів, гальвано-, термомагнітні, магнітооптичні ефекти в напівпровідниках, методи вимірювання вологості.

Раскрыты основы физики полупроводников и тонких плёнок, технологические основы микроэлектронных сенсоров физических величин. Приведена общая схема технологического процесса изготовления плёночных сенсоров, описаны методы получения тонких плёнок, технологии изготовления элементов толстоплёночных сенсоров, эпитаксионных слоёв, сбора микроэлектронных сенсоров. Изложены статические и динамические характеристики сенсоров магнитного поля и влажности. Освещена классификация магнитных материалов и определены параметры магнитного поля и магниторезисторов, гальвано-, термомагнитные, магнитооптические эффекты в полупроводниках, методы измерения влажности.


Індекс рубрикатора НБУВ: Ж102.33 + В3с0

Рубрики:

Шифр НБУВ: В350332/1 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського