Рассмотрены свойства и предложены условия синтеза и легирования углеродных (алмазоподобных) пленок для изготовления на их основе мощных резисторов нового поколения. Проведено сопоставление характеристик полученных резисторов с зарубежными аналогами.

Properties are considered and conditions of synthesis and alloying carbonic (diamond-like) films for manufacturing on their basis of powerful resistors of new generation are offered. Methods of execution of the basic technological operations are offered.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"