Описано автономні геліоенергетичні системи для мобільних об'єктів. Проаналізовано вплив параметрів меніска на сигнал вагової системи на основі математичної моделі зважування зливки у процесі LEC-вирощування монокристалів арсеніду галію. Розглянуто питання вирощування тонких плівок оксиду цинку за допомогою методу імпульсного лазерного напилення за низьких температур підкладки, застосування нечітких моделей для ідентифікації залежності щільності дислокацій від умов вирощування монокристалів напівпровідників. Визначено профіль розподілу концентрації домішки в процесі дифузійного легування кремнію. Описано автоматизовану систему промислового контролю параметрів зливків монокристалічного кремнію. Викладено нейромережевий підхід до структурного синтезу моделей передатних функцій лінійних динамічних об'єктів, концептуальний підхід до розробки методології системного технологічного проектування гнучких виробничих систем.

Описаны автономные гелиоэнергетические системы для мобильных объектов. Проанализировано влияние параметров мениска на сигнал весовой системы на основе математической модели взвешивания слива в процессе LEC-выращивания монокристаллов арсенида галия. Рассмотрены вопросы выращивания тонких плёнок оксида цинка с помощью метода импульсного лазерного напыления при низких температурах подкладки, применения нечётких моделей для идентификации зависимости плотности дислокаций от условий выращивания монокристаллов полупроводников. Определен профиль распределения концентрации примеси в процессе диффузионного легирования кремния. Описана автоматизированная система промышленного контроля параметров слитков монокристаллического кремния. Изложены нейросетевой подход к структурному синтезу моделей передаточных функций линейных динамических объектов, концептуальный подход к разработке методологии системного технологического проектирования гибких производственных систем.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"