Власкина С. И. Пленки карбида кремния : моногр. / С. И. Власкина, Г. С. Свечников, В. А. Смынтына. - О. : Астропринт, 2007. - 104 c. - Библиогр.: с. 98-103 - рус.Рассмотрены микроструктура, оптические и электрические свойства, технологические аспекты получения пленок карбида кремния. Раскрыты особенности процессов формирования его автоэпитаксиальных слоев, влияние подложки на их оптические свойства, а также особенности влияния условий роста на процессы образования дефектов в гетероэпитаксиальных монокристаллических пленках. Описаны фотолюминенсценция, состав и микроструктура толстых пленок кубического карбида кремния. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226 + з843.395-06
Рубрики:
Шифр НБУВ: ВА687801 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|