Исследовано влияние условий осаждения на процесс зародышеобразования, структуру и электрофизические свойства пленок поликристаллического кремния, легированного кислородом (ПКЛК). При содержании кислорода 2,5 - 22,0 ат % ПКЛК имеет квазикристаллическую структуру. Плотность ПКЛК во всем исследованном диапазоне составила <$E2,2~-~2,3~ roman {г"/"см sup 3 }>. Предложено объяснение полученных результатов на основе многомаршрутного процесса осаждения слоев в системе <$Eroman {SiH sub 4 ~-~N sub 2 O}>. Полученные результаты использованы для оптимизации процессов изготовления изделий силовой электроники.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"