Григорьянц В. В. СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов / В. В. Григорьянц, А. П. Долгов, Л. Ю. Кочмарёв, И. П. Шилов // Технология и конструирование в электрон. аппаратуре. - 2005. - № 6. - С. 39-42. - Библиогр.: 4 назв. - рус.Изучены особенности формирования планарных оптических волноводов на основе кварцевого стекла в СВЧ-плазмотроне волноводного типа на H10-моде. Предложенное устройство возбуждения СВЧ-разряда показало свою эффективность при разработке оптических структур состава <$Eroman {SiO sub 2 ~-~F|SiO sub 2 |SiO sub 2 ~-~F}>. На базе полученных оптических волноводов созданы направленные ответвители с матрицей передачи 16?16, предназначенные для использования в волоконно-оптических системах передачи и обработки информации. Peculiarities of the planar optical waveguide formation on the base of silica glass in the waveguide microwave plasmotron on the <$Eroman H sub 10>-mode are studied. The offered device of the microwave discharge excitation is the effective means for optical structure formation of the <$Eroman {SiO sub 2 ~-~F|SiO sub 2 |SiO sub 2 ~-~F}> composition. On the base of designed optical waveguides the couplers with <$E16~ times ~16> delivering matrix have been produced. These couplers are intended for power distribution in the communication optical fiber systems. Ключ. слова: планарный оптический волновод, СВЧ-разряд, волноводный СВЧ-плазмотрон. Індекс рубрикатора НБУВ: З845.79-01
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14479 Пошук видання у каталогах НБУВ
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|