Розглянуто основні принципи створення мікросхем, які базуються на планарній технології та груповому методі. Наведено приклади планарних конструкцій структурних елементів інтегральних схем - біполярних та польових транзисторів.

Рассмотрены основные принципы создания микросхем, базирующихся на планарной технологии и групповом методе. Приведены примеры планарных конструкций структурных элементов интегральных схем - биполярных и полевых транзисторов.

• Кислюк Віктор Віталійович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"