Проанализированы современные технологии изготовления автоэмиссионных катодов. Предложен практический способ формирования топологических элементов субмикронных размеров. Разработана и промоделирована технология изготовления одно-, многоострийных и лезвийных автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров по КМОП-технологии с использованием фотошаблонов микронных размеров. Показаны результаты моделирования электрического поля автоэмиссионного катода.

The modern fabrication technologies of field emission cathodes are analyzed. The practical method of submicron size layout elements forming is proposed. The technology of fabrication cathode tips with one or multi points and tips with line edge with using CMOS process and micron size photo masks are designed and modeled. The modeling results of field emission cathode electrical field are shown.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"