Розглянуто основи одержання металевих, алмазоподібних і споріднених з ними плівок, їх особливості та фізичні властивості. Наведено технології вимірювання товщини тонких плівок (ТП), осадження алмазоподібних матеріалів на основі карбону. Визначено відношення між умовами одержання ТП і їх особливостями. Описано механізми конденсації та росту ТП. Охарактеризовано датчики неелектричних величин, температури, тиску та вологості, газові датчики, тензодатчики та датчики магнітних характеристик на основі масивних і плівкових матеріалів.

Рассмотрены основы получения металлических, алмазоподобных и родственных с ними пленок, их особенности и физические свойства. Приведены технологии измерения тонких пленок (ТП), получения осадка алмазоподобных материалов на основе карбона. Определены взаимоотношения между условиями получения ТП и их особенностями. Описаны механизмы конденсации и роста ТП. Охарактеризованы датчики неэлектрических величин, температуры, давления и влажности, газовые датчики, тензодатчики и датчики магнитных характеристик на основе массивных и пленочных материалов.

• Проценко Іван Юхимович (технічні науки)
• Проценко Ігор Юрійович (філологічні науки)
• Проценко Ірина Юріївна (фізико-математичні науки)
• Шумакова Наталія Іванівна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"