Кравченко Ю. С. Хімічні процеси в мікроелектронній технології : навч. посіб. / Ю. С. Кравченко, Є. О. Смольков; Вінниц. нац. техн. ун-т. - Вінниця, 2007. - 53 c. - Бібліогр.: с. 52. - укp.Висвітлено теоретичні засади деяких технологічних хімічних процесів, які широко застосовуються в сучасній мікроелектроніці. Розкрито методи одержання діелектричних покриттів з дрібнодисперсних матеріалів. Увагу приділено питанням фотолітографії, зокрема, планарній технології, особливостям травлення діелектричних і металевих плівок. Освещены теоретические основы некоторых технологических химических процессов, широко применяемых в современной микроэлектронике. Раскрыты методы получения диэлектрических покрытий из мелкодисперсных материалов. Уделено внимание вопросам фотолитографии, в частности, планарной технологии, особенностям травления диэлектрических и металлических пленок. Індекс рубрикатора НБУВ: З844.1-06я7
Рубрики:
Шифр НБУВ: ВА702602 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|