Висвітлено фізико-технологічні аспекти взаємодії НВЧ-випромінювання з напівпровідниковими матеріалами та приладовими структурами на їх основі. Проаналізовано вплив активних обробок, зокрема, НВЧ-обробки, <$Eroman gamma>-опромінювання <$Eroman sup 60 Co> і швидкого термічного відпалу, на процеси структурної релаксації у контактах <$Eroman TiB sub 2> - GaAs (InP, GaP, SiC). Описано особливості НВЧ і <$Egamma>-випромінювання <$Eroman sup 60 Co> на електричні характеристики резонансно-тунельних діодів на основі гетеропереходів AlGaAs - GaAs і арсенідгалієвих тунельних діодів з <$Eroman delta>-шаром в області просторового заряду. Визначено вплив НВЧ-випромінювання на модифікацію дефектів у структурах <$Eroman SiO sub 2> - GaAs (SiC). Розглянуто стимульовані даним випромінюванням ефекти у системах "нанокристалічний кремній - кремній" та ефекти, викликані НВЧ і <$Eroman gamma>-опромінюванням <$Eroman sup 60 Co> у структурах <$Eroman Ta sub 2 O sub 5>-Si залежно від умов формування <$Eroman Ta sub 2 O sub 5>.

Освещены физико-технологические аспекты взаимодействия НВЧ-излучения с полупроводниковыми материалами и приборными структурами на их основе. Проанализированы влияние активных обработок, в частности, НВЧ-обработки, <$Eroman gamma>-облучения <$Eroman sup 60 Co> и быстрого термического отжига, на процессы структурной релаксации в контактах <$Eroman TiB sub 2> - GaAs (InP, GaP, SiC). Описаны особенности НВЧ и <$Egamma>-облучения <$Eroman sup 60 Co> на электрические характеристики резонансно-тоннельных диодов на основе гетеропереходов AlGaAs - GaAs и арсенидгаллиевых тоннельных диодов с <$Eroman delta>-слоем в области пространственного заряда. Определено влияние НВЧ-излучения на модификацию деффектов в структурах <$Eroman SiO sub 2> - GaAs (SiC). Рассмотрены стимулированные данным облучением эффекты в системах "нанокристаллический кремний - кремний" и эффекты, вызванные НВЧ и <$Eroman gamma>-облучением <$Eroman sup 60 Co> в структурах <$Eroman Ta sub 2 O sub 5>-Si в зависимости от условий формирования <$Eroman Ta sub 2 O sub 5>.

• Бєляєв Олександр Євгенович (1947–) (фізико-математичні науки)
• Конакова Раїса Василівна (1941–) (фізико-математичні науки)
• Литвин Петро Мар'янович (фізико-математичні науки)
• Мітін Вадим Федорович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"