Босый В. И. Испаритель для термического напыления материалов в вакууме / В. И. Босый, В. П. Кохан, Н. М. Рахманов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2008. - № 5. - С. 56-57. - Библиогр.: 57 назв. - рус.Рассмотрена конструкция испарителя, предназначенного для напыления материалов в вакуумно-напылительных установках, который успешно эксплуатируется в технологическом процессе изготовления арсенид-галлиевых транзисторов, диодов и монолитных схем. The evaporator design for vacuum deposition of materials in vacuum-deposition installations has considered. Ключ. слова: напыление, испаритель, ленточный нагреватель, тигель, распределение температуры.. Індекс рубрикатора НБУВ: З85-06
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14479 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|