Гераїмчук М. Д. Нано- і мікротехнології в приладобудуванні : монографія / М. Д. Гераїмчук, І. М. Гераїмчук; Нац. техн. ун-т України "Київ. політехн. ін-т". - К. : ЕКМА, 2008. - 90 c. - Бібліогр.: с. 85-90. - укp.Розкрито основи побудови мікро- та наноперетворювачів механічних величин. Охарактеризовано принципи конструювання перетворювачів. Описано мікро- та нанотехнології. Розглянуто питання вибору матеріалів і технології виготовлення у процесі розробки мікро- та наносистем і їх елементів. Увагу приділено методології, етапам і засобам проектування систем на кристалі та мікроелектромеханічних системах (МЕМС). Проаналізовано програмні засоби моделювання та проектування МЕМС. Наведено приклади реалізації систем на основі концепції "система на кристалі". Раскрыты основы построения микро- и нанопреобразователей механических величин. Охарактеризованы принципы конструирования преобразователей. Описаны микро- и нанотехнологии. Рассмотрены вопросы выбора материалов и технологии при разработке микро- и наносистем и их элементов. Внимание уделено методологии, этапам и средствам проектирования систем на кристалле и микроэлектромеханических системах (МЭМС). Проанализированы программные средства моделирования и проектирования МЭМС. Приведены примеры реализации систем на основе концепции "система на кристалле". Індекс рубрикатора НБУВ: К929.5 + К961.5
Рубрики:
Шифр НБУВ: ВА709295 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|