Представлены конструкция, технология изготовления, схема измерения параметров первичных преобразователей (ПП) микродатчиков ускорения и давления с использованием алмазных материалов. Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. Рассчитанное значение емкости 11 пФ для ПП датчика ускорения хорошо согласуется с экспериментальными значениями. Рассмотрен рабочий диапазон измерения ускорения от 100 до <$E~1~800~ roman {м"/"с sup 2 }>, при котором емкость практически линейно меняется в диапазоне 11 - 20,5 пФ. Для ПП датчика давления рассчитанное значение емкости 7 пФ, также соответствует экспериментальным значениям. При рабочем диапазоне измерения давления от 1 до 19,5 кПа, емкость практически линейно меняется в диапазоне 6,4 - 11,7 пФ.

Наведено конструкцію, технологію виготовлення, схему вимірювання параметрів первинних перетворювачів (ПП) мікродатчиків прискорення та тиску з використанням алмазних матеріалів. Описано методику розрахунку й експериментальний спосіб визначення основних параметрів мікродатчиків. Розраховане значення ємності 11 пФ для ПП датчика прискорення добре узгоджується з експериментальними значеннями. Робочий діапазон вимірювання прискорення - від 100 до <$E~1~800~ roman {м"/"с sup 2 }>, за цього ємність практично лінійно змінюється в діапазоні 11 - 20,5 пФ. Для ПП датчика тиску розраховане значення ємності 7 пФ також відповідає експериментальним значенням. Робочий діапазон вимірювання тиску - від 1 до 19,5 кПа, за цього ємність практично лінійно змінюється в діапазоні 6,4 - 11,7 пФ.

The article presents the design, manufacturing techniques and the scheme of parameter measuring of primary transducers for acceleration and pressure microsensors based on diamond materials. There have been described the designing procedure and an experimental way of definition of microsensors' key parameters. The calculated value of capacity 11 пF for primary transducers of the gauge of acceleration, well coincides with experimental values. The working range of accelerations from 100 to <$E~1~800~ roman {m"/"s sup 2 }>, thus capacity almost linearly varies in a range 11 - 20,5 пF. For primary transducers of the pressure sensor the calculated value of capacity 7 пF, also well coincides with experimental values. The working range of pressure measurements from 1 to 19,5 kPa, thus capacity almost linearly varies in a range 6,4 - 11,7 пF.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"