Митягин А. Ю. Технология и оборудование для обработки алмазных материалов современной электроники / А. Ю. Митягин, А. А. Алтухов, А. Б. Митягина // Технология и конструирование в электрон. аппаратуре. - 2009. - № 1. - С. 53-58. - Библиогр.: 9 назв - рус.Розроблено методи відбору та сортування алмазів за електрофізичними властивостями сучасними фізичними методами аналізу, технології прецизійного лазерного різання алмазів, їх обробки на основі термохімічних реакцій в газовому середовищі. Створено експериментальну установку для полірування та шліфування алмазних пластин, установку для різання, установку плазмохімічної обробки. Розробленo методики вимірювання шорсткості поверхні оброблених пластин і контролю параметрів шорсткості. Наведено результати експериментів. Разработаны методы отбора и сортировки алмазов по электрофизическим свойствам современными физическими методами анализа, технологии прецизионной лазерной резки алмазов, их обработки на основе термохимических реакций в газовой среде. Создана экспериментальная установка для полирования и шлифования алмазных пластин, установка для резки, установка плазмохимической обработки. Разработаны методики измерения шероховатости поверхности обработанных пластин и контроля параметров шероховатости. Приведены результаты экспериментов. The methods of selection and sorting of diamonds according to their physical properties by modern physical methods of the analysis are developed, as well as the technologies of precision laser cutting of diamonds, their processing on a basis of thermochemical reactions in gas environment. The experimental installation for polishing and grinding of diamond plates, installation for slicing, installation for plasma-- chemical processing are created. The techniques of surface roughness measurement of the processed plates and control of roughness parameters are developed. Some experimental results are given. Ключ. слова: алмаз, обработка лазерная, обработка термохимическая Індекс рубрикатора НБУВ: З843.391
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14479 Пошук видання у каталогах НБУВ
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|