Котлярчук Б. К. Властивості тонких шарів нітриду галію, одержаних з допомогою імпульсної лазерної реактивної технології / Б. К. Котлярчук, Д. І. Попович, А. С. Середницький // Фізика і хімія твердого тіла. - 2004. - 5, № 3. - С. 481-484. - Бібліогр.: 4 назв. - укp.Описано лабораторний лазерний технологічний процес синтезу нітридних тонких шарів GaN, GaN:Zn, GaN:Mn, GaN:Cr і вивчено їх основні структурні, електрофізичні та катодолюмінесцентні характеристики. Досліджено спектральні та кінетичні характеристики паро-плазмового факела в проміжку мішень-підкладка у процесі лазерного випаровування в нітридному середовищі. Вивчено характер швидкості переносу та ступеня іонізації плазми від технологічних параметрів (тиску азоту в камері, відстані від мішені, магнітного поля в зоні мішені). Встановлено закономірності взаємозв'язку між термодинамічними характеристиками процесу конденсації (тиском азоту, температурою підкладки), енергетично-часовими режимами та геометрією лазерного напилення, з одного боку, та структурою, електрофізичними і катодолюмінесцентними властивостями одержаних тонких нітридних шарів, з другого боку. Вивчено основні закономірності імпульсної лазерної кристалізації, характер зміни яскравості катодолюмінесценції та спектра випромінювання залежно від густини енергії лазерного відпалу. Ключ. слова: імпульсна лазерна конденсація, нітриди, тонкі шари, люмінофори Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619 + В379.24
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|