РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000122209<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Дуб С. Н. 
Влияние структурно-фазового состава тонких пленок дисилицида тантала на их механические свойства / С. Н. Дуб, Ю. Н. Макогон, Е. П. Павлова, С. И. Сидоренко, О. В. Зеленин // Металлофизика и новейшие технологии. - 2002. - 24, № 1. - С. 61-73. - Библиогр.: 19 назв. - рус.

Тонкі плівки дисиліциду танталу одержано магнетронним розпиленням мішені TaSi2 у первісному вакуумі 10<^>-4 Па. Досліджено вплив швидкості осадження на структуру та механічні властивості плівок, які вивчено методом циклічного наноіндентування. Виявлено, що зниження швидкості осадження викликає зростання вмісту кисню та вуглецю в плівках. Забруднення плівок киснем і вуглецем призводить до осадження плівок дисиліциду танталу в аморфному стані. Відпал за температури 900 К викликає кристалізацію аморфної фази, яка значно змінює механічні властивості плівок. Нанотвердість і модуль пружності різко зростають, плівка стає крихкою та сильно напруженою.


Ключ. слова: тонкие пленки, дисилицид тантала, аморфное и кристаллическое состояние, нанотвердость
Індекс рубрикатора НБУВ: К235.150.26 + В372.6

Рубрики:
 Тонкі шари твердих тіл 

Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського