РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000122802<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Валах М. Я. 
Вплив інтердифузії на компонентний склад та релаксацію механічних напружень в самоіндукованих SiGe-наноострівцях / М. Я. Валах, О. Й. Гудименко, В. М. Джаган, В. П. Кладько, З. Ф. Красильник, П. М. Литвин, В. Ф. Мачулін, О. В. Новіков, В. О. Юхимчук // Металлофизика и новейшие технологии. - 2004. - 26, № 6. - С. 741-751. - Бібліогр.: 13 назв. - укp.

Проведено комплексне дослідження самоіндукованих SiGe-наноострівців на кремнієвій підкладці, сформованих за різних температур молекулярно-променевої епітаксії. У результаті досліджень з допомогою атомно-силової мікроскопії встановлено залежності щільності, об'єму та форми наноострівців від температури епітаксії. З використанням спектроскопії комбінаційно розсіюваного світла та високороздільної рентгенівської дифрактометрії визначено усереднені величини пружних деформацій та компонентного складу острівців залежно від температури їх зростання. Показано, що під час збільшення температури епітаксії значно зростає дифузія Si в острівці і, як наслідок, розширюється область стабільності пірамідальних острівців з різними об'ємами.


Ключ. слова: комбінаційне розсіювання світла, атомно-силова мікроскопія, ВРРД, SiGe-наноострівці, дифузія, механічні напруження
Індекс рубрикатора НБУВ: Ж620 + В379.2

Рубрики:
 Нанотехнології 
 Фізика напівпровідників 

Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського