За допомогою сучасних методів дослідження визначено основні параметри вольт-амперних характеристик МОН-транзисторів і вплив на них структурних недосконалостей, домішкового складу та неоднорідностей легування. Досліджено пластини вихідного монокристалічного кремнію, а також структури оксид - кремній. Установлено, що в більшості випадків основними домішками у вихідному кремнії, а також у пластинах кремнію, після зняття оксиду, є кисень і вуглець. Кисень проявляє електричну активність і таким чином впливає на параметри структурних дефектів, які, в свою чергу, впливають на рухливість і порогову напругу.

• Кулініч Олег Анатолійович (1955–) (фізико-математичні науки)
• Кулініч Оксана Андріївна (економічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"