Наведено результати досліджень структурних змін у монокристалах кремнію та епітаксійних структурах Al - Si, <$E roman {SiO sub 2~-~Si}>, що виникають у разі впливу на них лазерного випромінювання з різною енергією. Показано, що поля деформації навколо локальних ушкоджень мають досить складний характер. Установлено, що лазерне випромінювання впливає на перерозподіл дефектів у перехідних шарах Al - Si, <$E roman {SiO sub 2~-~Si}>.

• Шафранюк Володимир Петрович (медичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"