Сидоренко С. И. Исследование наноструктуры и механических свойств пленок TaSi2 на кремнии / С. И. Сидоренко, Ю. Н. Макогон, С. Н. Дуб, Е. П. Павлова, Д. Л. Беке, А. Чик, О. В. Зеленин // Металлофизика и новейшие технологии. - 2004. - 25, № 6. - С. 737-745. - Библиогр.: 6 назв. - рус.Досліджено утворення нанокристалічної структури в плівках TaSi2 на монокристалічному кремнії. Нанокристалічну структуру та механічні властивості плівок TaSi2, одержаних розпиленням мішені TaSi2, досліджено за допомогою методів рентгенівської дифракції, просвітлювальної електронної мікроскопії поперечних зрізів (cross-section), резистометрії та циклічного наноіндентування. Виявлено, що зменшення швидкості осаджування плівки з 1 до 0,2 нм/с призводить до збільшення вмісту в ній домішок O, C і N. Плівки з підвищеним змістом домішкових атомів після осадження перебувають в аморфному стані. Відпал за 970 K зумовлює утворення нанокристалічної структури, яка складається з суміші дисиліциду TaSi2 і невеликої кількості силіциду Ta5Si3. Середній розмір зерна фаз порядку 10 нм. Кристалізація плівок суттєво змінює їх механічні властивості: нанотвердість та модуль пружності значно збільшились. Плівки стають крихкими та напруженими. У плівках, одержаних зі швидкістю осаджування 1 нм/с, в основному спостережено дисиліцид танталу й аморфну фазу. Після відпалів аморфна фаза біля підкладки кремнію існує разом з колоноподібними зернами дисиліциду танталу розміром <$E 150~symbol Ф~500> нм, а відпалена тонка плівка стає неоднорідною за товщиною. Зазначено, що нанотвердість та модуль пружності збільшуються. Ключ. слова: пленка, скорость осаждения, аморфная фаза, нанокристаллическая структура, механические свойства Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033-18 + К663.235-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|