Петренко В. Р. Компьютеризированная система регулирования диаметра монокристаллов кремния, выращиваемых по методу Чохральского / В. Р. Петренко, М. А. Ткаченко // Систем. технології., 2001. - Вип.4. - С. 77-81. - Библиогр.: 4 назв. - рус.Розглянуто питання автоматичного регулювання діаметра кристала кремнію під час вирощування за методом Чохральського. Для контролю поточного діаметра запропоновано використання телевізійного методу. Наведено функціональну схему розробленого пристрою, що дозволяє формувати імпульси, тривалість яких залежить від значення контрольованого діаметра. Пристрій має вигляд плати, яка вставляється в стандартне ISA роз'єм ПЕОМ. Стисло описано інтерфейс користувача системи регулювання діаметра, який дозволяє вводити та переглядати необхідні залежності діаметра кристала від його довжини, відображати поточні значення діаметра та відхилення поточних значень від заданих; передбачено звукову сигналізацію у разі недопустимих відхилень. Розроблена система регулювання діаметра може використовуватися автономно в складі інформаційно-керуючих комплексів установок вирощування. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.22в641.8
Шифр НБУВ: Ж69472 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|